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磁控溅射制备高质量Fe_(20)Ni_(80)薄膜(英文)
采用磁控溅射的方法制备了高质量的铁镍合金(Fe_(20)Ni_(80))软磁性薄膜,探究了制备过程中溅射条件对Fe_(20)Ni_(80)薄膜质量的影......
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