臭氧超净水相关论文
利用自主研发强电离放电的臭氧超净水产生系统,采用强电场电离放电把氧激发、电离,电离离解成O,O-,O+,O(1D)和O2(a1Δg)等活性粒子......
硅片清洗技术已成为制备高技术电子产品的关键技术.采用窄间隙介质阻挡放电方法研制了低温氧等离子体源,把氧离解、电离、离解电离......
采用超窄间隙介质阻挡电离放电方法将氧离解、电离、电离离解成低温氧等离子体，其中O-和 O2（a1驻g）等活性粒子在电场中反应生成高浓度......
