蒸气回溶相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

蒸气回溶相关论文

聚合物阵列波导光栅的制作技术

捅要：研究了聚合物阵列波导光栅AWG制作的几个关键技术。首先，为了克服反应离子刻蚀过程中单独使用光刻胶作掩膜而导致的光波导形状......

期刊

聚合物阵列波导光栅双掩膜蒸气回溶 polymer AWG the combined layer masks steam remelting

减少聚合物阵列波导光栅损耗的蒸气回溶技术

阵列波导光栅(AWG)器件是波分复用(WDM)系统的一种关键器件,其中,聚合物阵列波导光栅由于其制备工艺、器件集成等方面的优势而受到......

期刊

平面光波回路阵列波导光栅蒸气回溶插入损耗串扰

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