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薄膜分层相关论文
光学薄膜应力的研究
光学薄膜广泛应用于半导体器件、光电显示、光通信等领域。由于薄膜镀制过程中,经历了固相-气相-固相的变化过程,使得光学薄膜中普......
学位
光学薄膜
残余应力
热应力
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薄膜分层
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