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薄膜晶体管工艺过程相关论文
关于TFT—LCD工艺过程中ESD改善的研究
在显示器件薄膜晶体管(thin film transistor,TFT)以及半导体制造工艺过程中,各个环节都有可能产生静电放电(electrostatic discharge,ES......
期刊
薄膜晶体管工艺过程
静电放电
聚焦离子束
TFT process ESD (electrostatic discharge) FIB(focus ion bon
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