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Preparation of Porous GaN Buffer and Its Influence on the Residual Stress of GaN Epilayers Grown by
-grownmixed-polarity 轧了的分子的横梁取向附生(MBE ) 上的多孔的结构的准备 epilayers 被使用湿化学蚀刻方法报导。剩余压力上......
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多孔渗水缓冲器
氢化物蒸汽相外延
残差应力
薄膜激片
GaN
Hydride vapour phase epitaxy
Porous buffer
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