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聚酰亚胺的导电性能及其与铝的离子束混合研究
研究了150 keV Kr~+离子注入对聚酰亚胺(PI)导电性能的影响。发现 PI 样品注入 Kr~+离子后的室温电阻率比注入 Kr~+前降低约16个数......
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聚酰亚胺
薄膜铝
ion beam mixing
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