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薄膜镜传感器相关论文
薄膜镱压力传感器的特性与制造
镱压力传感器在0─3GPa范围内,与锰铜传感器和碳阻传感器相比,更适合于冲击波的动态测量。用微细加工技术制造的薄膜镱传感器,兼有镱材材和......
期刊
压力传感器
薄膜镜传感器
特性
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shock wave measurement
Yb stress transducer
thin film senso
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