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螺旋波等离子相关论文
n/p型Si衬底对ZnO薄膜结构及导电类型的影响
采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术,分别在n型和p型Si(100)衬底上制备N-Al共掺ZnO薄膜,研究了硅衬底的导电类型对结构及导电......
会议
螺旋波等离子
射频磁控溅射
导电类型
薄膜结构
氧化锌薄膜
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