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大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进

由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲......

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光栅刻划机衍射光纤双拉杆结构单拉杆结构石英导轨 grating ruling engine diffraction optical fiber doub

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