表面光学表征相关论文
基于旋转补偿器的反射差分光谱(RC-RDS)技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法,其全光谱快速测量性能,特别适合在线检测......
有机薄膜器件是微电子和光电子领域的重点研究方向。薄膜制备过程的在线监测作为研究成膜机理和优化工艺参数最直接的测量手段,对......
