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贵金刚石碳膜相关论文
用直流等离子CVD法制作的DLC膜的特性
用直流等离子CVD法在硬质合金表面上涂覆DLC膜(类金刚石碳膜)并进行了喇曼分光分析,研究了组织,硬度,附着性和磨损性。DLC膜显示了比用PVD法得到了TiN膜......
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