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超大规划集成电路相关论文
超大规划集成电路MOSFET可靠性的特性研究
随着超大规模集成电路CMOS特征尺寸的不断减小,MOSFET的可靠性问题日益突出和复杂。90nm和65nm技术代下,超薄SiON栅介质层的pMOSFE......
学位
超大规划集成电路
超薄SiON
高K/金属栅介质
可靠性分析
物理机制
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