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超浅硅N~+P结雪崩发射式冷阴极研究
本文介绍了硅超浅N~+P、结雪崩电子发射式真空微冷阴极的结构、工作原理以及用低能As离子注子形成结深浅于30 um的超浅N~+P结技术......
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