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避免超硬nc-(Al(1-x)Tix)N/a-Si3N4纳米复合材料制成的(Al(1-x)Tix)N涂层的高温分解
大约单层薄的非晶态氮化硅的组织,是在nc-(Al(1-x)Tix)N/a-Si3N4超硬纳米复合涂层沉积过程中形成的,具有良好的结构与硬度。在温度低于......
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