超硬薄膜相关论文
利用振簧技术测量了不同退火状态下的nc-TiN/a-SiN超硬薄膜的Youngs模量和内耗随温度的变化关系.以280-300℃附近观察到一个弛豫内......
介绍了一种新型超硬薄膜材料-氮化碳(CN)的组成和结构,并对其主要的力学性能,光学性能及应用进行了概述.并综述了氮化碳的反应溅射......
本文采用离子束辅助沉积法在单晶硅片进行沉积制备了TiN/SiN纳米复合超硬薄膜,研究了辅助束流轰击能量和Ti/Si靶面积比等工艺参数......
超硬薄膜的硬度可分为本征硬度和非本征硬度.非本征硬度超硬薄膜其超硬性和力学性能取决于它们的显微结构,本文主要介绍非本征硬度......
采用反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法在高速工具钢基体上沉积了CN/TiN 复合超硬薄膜。氮化碳以硬质结晶相存在，复合膜的显微......
用直流反应磁控溅射－多弧离子镀技术，在高速工具钢基体上沉积CN/TiN复合超硬薄膜。薄膜中存在β-CN和α-CN六角晶系硬质相氮化碳，用XR......
工业的发展对材料性能提出了越来越高的要求，利用超硬膜进行材料表面防护是改进材料性能的一个重要途径。在不改变材料整体性能的前......
该文设计并制造了薄膜内耗仪的机械装置,阐述了设计中应注意的问题.研究了真空等因素对试样共振频率和内耗测量的影响.探索了测量......
学位
利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100 Hz时在230～280 ℃范围内观察到一个弛豫......
本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶硅和多晶铂基片上沉积 ......
通过系列载荷显微硬度试验,采用合适的硬度模型及随后的数据处理尽量排除薄膜涂层厚度及压痕尺寸效应的影响,较真实地测量了在高速......
基于通过第一性原理计算方法,计算了三元固溶体Fcc-Cr1-xSixN总能,在此基础上计算了其分离能和调幅分解线.结果说明,Fcc-Cr1-xSixN......
利用超硬薄膜进行材料防护是提高材料性能的一种经济、实用的途径,也是提高模具寿命的重要手段.根据B-Si-C-N系耐磨硬质膜材料的不......
本文采用微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）法，用高纯敢（９９．９９９％）和甲烷（９９．９％）作反应气体，在单晶硅多晶铂基片上沉积β－Ｃ３Ｎ４薄膜。Ｘ射线能谱（ＥＤＸ）分析了这种晶态Ｃ＝Ｎ膜的化学......
DLC super-hard films have been deposited on the substrates of single crystalline Si, pure Ti and stainless steel 18-8 by......
超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法，分析了制备技术和性能表征方......
本文考察了Ａｌ量对多弧离子镀（ＴｉｘＡｌＹ）Ｎ膜层的硬度、孔隙率、耐磨性，摩擦系数，结合力等因素的影响。并利用扫描电镜，电子探针，Ｘ射线 及俄歇电子谱仪......
By combination of DC reactive magnetron sputtering with multiple arcplating, the alternating C3 N4/TiN compound film is ......
１９８５，１９８９年Ａ．Ｙ．Ｍａｙ与Ｍ．Ｌ．Ｃｏｈｅｎ先后采用半经验公式和第一原理赝势算法计算并预言了硬度可与金刚石相媲美的β－Ｃ３Ｎ４材料的存在。之后，各国材料工作者对Ｃ３Ｎ４的材料性能以......
为了研究℃Nx/TiNy复合交替超硬薄膜在不同温度下组织、结构和和性能变化等热稳定性问题,采用扫描电镜、X射线衍射、激光拉曼光谱......
通过第一性原理计算方法计算了三元固溶体fcc-Nb1-xSirN的总能，在此基础上计算了其分离能和调幅分解线。结果表明，fcc-Nb1-xSirN是亚......
本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳－氮化钛复合膜，经X射线衍射分析，复合膜中存在α-C3N4和β－C3N4......
采用射频磁控溅射技术制备了Ru—B薄膜，利用掠入射X射线衍射（GIXRD）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、原子力显微镜（AFM）等分析技术对薄膜......
本文简述了PCVD技术的原理、特性、设备。并对其制备的TiN、TiC、Ti(C_xN_y)超硬膜进行了显微硬度和化学成份等分析,最后介绍了该......
利用超硬涂层进行材料防护是提高材料性能的一种经济、实用性途径，也是提高模具寿命的重要手段。按金属氮化物和碳化物耐磨硬质涂层......
超硬材料主要由Ⅲ,Ⅳ,V族共价键化合物(碳化物、氮化物)和单质(金刚石)组成,硬度高于40GPa,有单晶、多晶、非晶等多种.除金刚石外,......
<正> 随着机床设备的数控自动化等机械加工技术的迅速发展,需要有高精度、高效率、长寿命的切削工具相适应,因此,对刀具进行表面硬......
利用内耗技术研究了TiSiN系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理.当共振频率大约在100Hz时在230～280℃范围内观察到一个弛豫型......
利用第一性原理赝势波方法计算了B原子在TiN（111）表面的吸附特性。给出了B原子位于顶位、面心立方位、六方密堆位和桥位时,各吸附构......
概述了一些具有应用前景的刀具硬质涂新材料和多元，复合多层超硬薄膜的应用；了超高硬度涂层材料；低压气相合成金刚石、立方氮化硼和β......
自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将......
本文介绍了碳系列薄膜、纳米多层及纳米复合超硬薄膜近年来所取得的研究成果 ,重点是氮化物纳米多层与复合超硬薄膜的研究状况 ,并......
在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点;分析了国内当前PVD技术应用与研......
为了在高速钢刀具上制备先进的氮化碳超硬涂层,采用DC 反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳-氮化钛复合膜,......
:概述了一些具有应用前景的刀具硬质涂层新材料和多元、复合多层超硬薄膜的应用 ;介绍了超高硬度涂层材料 :低压气相合成金刚石、......
