超精密工作台是当今机械加工中必不可少的重要设备，它的定位精度直接关系到产品质量。但是实际加工的过程是复杂多变的，由于其存在参......

基于模糊控制算法与PID（proportion—integral—derivative）控制算法的优缺点，提出将模糊PID复合控制算法应用于超精密工作台控制系统......

采用直线电动机加气浮导轨模式搭建大行程纳米级分辨率的超精密工作台，并建立超精密工作台进给系统的数学模型。通过计算机仿真分别......

单平行四杆柔性铰链机构作为移动副被广泛用于超精密工作台、精密传感器中。超精密工作台依靠其变形产生位移,故刚度特性对其定位......

讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术，介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨......

文章详细讨论了现有的各种S形轨迹规划方法,在综合比较各种设计方法优缺点的基础上,采用最小冲击准则,并结合超精密加工领域轨迹运......

为评价超精密工作台自标定过程中由随机测量误差引起的标定不确定度,提出了基于M on te C arlo模拟的自标定不确定度定量评价方法......

洛伦兹电动机广泛应用于超精密制造装备中。为提高洛伦兹电动机的推力输出和快速响应性能,降低发热功率,提出了一种综合评价超精密......