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磁流变抛光在其实际工作过程中,抛光区域几何特征的不同将会对流场创成的关键参数产生很大的影响.针对此问题建立三维模型与实验仿......
介绍了一种基于锥镜 (axicon)的非接触光学位移测量的新方法 ,可用于精密表面和超精密表面的位移测量。其特点是量程较大 ,分辨率......
半导体材料的超精密加工是一种获得高表面质量和表面完整性的加工技术,研抛磨粒是实现半导体材料超精密加工的关键耗材之一。从研......
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表面形貌是影响产品零部件功能特性的重要特征。随着现代光学、光电子信息技术以及航空航天技术等的发展,表面形貌超精密测量与分......
