超精密运动控制相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

超精密运动控制相关论文

面向IC光刻的超精密运动台控制技术

对于步进扫描投影光刻机，掩模台和工件台的同步伺服性能将直接影响整机技术指标。掩模台和工件台是典型的六自由度超精密运动台，在耦......

期刊

光刻机多自由度运动台超精密运动控制

双硅片台超精密运动控制系统的硬件平台研究

高性能运动控制硬件平台是实现光刻机超精密运动控制的基础。本文结合“‘十一五’国家重大科技专项——光刻机双工件台系统样机研......

学位

双硅片台主从控制并行处理超精密运动控制光纤通信传输

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