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论述了光栅技术在超精密加工和超精测量中应用的可行性,比较了光栅技术和激光干涉技术的优缺点。从光栅技术的发展历史,总结出光栅技......
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<正> 1.前言 近来,一提到超精密计量,似乎可与光学技术相提并论,因采用光学计量技术能够实现非接触精度计量,因此,它便成为科学、......
孔径的超精测量,一直是长度计量中的难点。本文提出和种采用双频激光干涉技术和微位移微瞄准技术实现的小孔孔径超精测量系统,可在8~50mm的......