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超精细纳米结构加工技术
利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构。加工精度在特征尺寸和空间位......
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超精细纳米结构
高分辨透射电镜
纳米加工
ultrafine nanostructure HRTEM nanofabrieation
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