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超薄外延相关论文
基于超薄外延技术的双扩散新型D-RESURF LDMOS设计
文中针对高压节能应用领域,开发了一种基于超薄外延技术的双扩散BCD兼容工艺,实现了一种新型D-RESURF结构的700V LDMOS设计。结构......
期刊
超薄外延
D-RESURF
双阱高压LDMOS
VLD
一种基于超薄外延工艺的新型LDMOS设计
依托于国家科技重大项目“汽车电子&新型节能芯片工艺研发及产品公共服务平台建设”,本文设计了一种基于超薄外延技术的双扩散新型......
学位
BCD工艺
高压LDMOS
D-RESURF
超薄外延
双阱注入
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