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该文基于新型的超高速光导开关,利用AFM在多种条件下对金属Ti膜和半导体Si基底进行了阳极氧化加工,深入研究了加工的机理和可靠性,......
在新型超高速光导开关的研究中,采用AFM阳极氧化加工方法,加工利用磁控溅射方法在GaAs衬底得到的厚约3nm的钛膜,形成纳米级氧化钛线.该......
光导开关因其机械结构简单、响应速度快、触发稳定、灵敏度高、实现了光电隔离等诸多优点而在高功率超宽带脉冲产生领域和超快电子......