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跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究
利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式.通过COMSOL软件......
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声表面波
复合膜结构
叉指换能器
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