软X射线共振反射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

软X射线共振反射相关论文

软X射线共振反射方法表征Sc/Si多层膜界面化合物成分的计算研究

摘要：　　Sc/Si周期多层膜是极紫外波段的重要材料，但膜层界面处材料原子间的扩散与化合反应严重影响了多层膜反射率。为了无损表征......

期刊

软X射线共振反射 Sc/Si周期多层膜界面成分原子散射因子 soft X-ray resonant reflection Sc/Si periodic m

看过本文同时还关注