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辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜。采用Raman光谱、X射......
期刊
类金刚石薄膜
辅助气体组成
中频脉冲非平衡磁控溅射技术
结构
性能
diamond-like carbon films
assistant gases comp
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