逆傅利叶变换相关论文
导出光刻成像的计算机模拟公式，提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法，并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为０．６０的１９３μｍ深......
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推导出光刻成像的计算机模拟公式 ,讨论了光瞳滤波提高光刻分辨率的物理机理 ,给出了几个实验结果。提出逆傅利叶变换卷积滤波提高......
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