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硅衬底Al(In)GaN紫外探测器研究
蓝宝石衬底质地坚硬、不易减薄且表面翘曲严重,碳化硅衬底尺寸小、价格昂贵,相较之下,硅衬底价格低廉、晶圆尺寸大、晶体质量高、......
学位
Al(In)GaN
紫外探测器
衬底去除
钝化
透射谱拟合
蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究
全组分AlGaN是指Al组分(原子数分数)在0~1之间的AlGaN.通过将组分引入到AlGaN的复折射率中,在200~800 nm光谱范围内建立了全组分AlGa......
期刊
薄膜
AlGaN
全组分
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多层薄膜模型
透射谱拟合
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