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重掺硅薄膜相关论文

电子束蒸发沉积重掺硅薄膜及其在低辐射玻璃上的应用

采用电子柬蒸发法以普通玻璃为基板制备了重掺硅薄膜，通过SEM、EDS、透射光谱对其形貌、成分以及透射率进行了测试表征。进一步采用......

期刊

电子束蒸发重掺硅薄膜低辐射玻璃硅保护层铝诱导低温晶化法 e-beam evaporation heavily doped Si filmlow-e gl

电子束蒸发沉积重掺硅薄膜及其应用

Si材料是半导体材料中最重要的材料之一，以应用于微电子工业等领域居多，其中Si薄膜则多用在太阳能行业，且对于Si薄膜的其他用途研究则......

学位

电子束蒸发重掺硅薄膜 Low-e玻璃 Si保护层金属防腐蚀

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