金刚石厚膜工艺相关硕士博士期刊学术论文

本文利用变参数沉积金刚石厚膜工艺,提高了金刚石的成核密度,细化了晶粒尺寸,减小的空洞缺陷,改善了厚膜刀具的锋锐度.......