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金刚石线锯加工相关论文
SiC单晶片线锯切割的表面粗糙度建模与预测研究
表面粗糙度是SiC单晶片金刚石线锯切割过程中最重要的一个质量指标,其直接影响电子器件的性能和使用寿命。为此,本文对金刚石线锯......
学位
金刚石线锯加工
表面粗糙度
建模
预测
工艺参数优化
固结金刚石磨粒线锯加工过程中的振动研究
固结金刚石磨粒线锯加工技术是单晶片加工的关键工序,如果半导体晶片切割后,表面粗糙度低、表面损伤层小,则可以显著提高后续工艺的效......
学位
金刚石线锯加工
弦线振动
黏性阻尼
轴向运动
磨粒法
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