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该研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛铌酸锶薄膜,然后蒸铝和利用光刻技术制作铝电极,形成......
该研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅补底上制备一层钛铌酸锶薄膜,然后蒸铝并利用光刻技术制作铝电极,从而......