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钛铝共掺杂相关论文
钛、铝共掺杂类金刚石碳基薄膜的制备、结构及摩擦学行为研究
类金刚石碳基(Diamond-like carbon,DLC)薄膜一般由sp3-C键(金刚石结构)和sp2-C键(石墨结构)组成,属于亚稳无定形碳材料的一种。具有高硬......
学位
类金刚石
钛铝共掺杂
残余应力
微观结构
摩擦性能
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