钨电阻相关论文
微热板具有尺寸小、低功耗、响应速度快以及易集成等优点,被广泛应用于真空传感器、微量热计、微气体传感器等微型器件中,因此微热......
标准CMOS工艺中的多晶硅的热性能越来越稳定，因此多晶硅微热板受到一定的限制。本文设计了一种与标准CMOS工艺兼容的钨微热板。钨在......
