介绍了用ICP-AES法测定钽铝合金中微量铁和硅的方法。本文从测量条件的选择谱线选择、基体影响等几个方面进行了试验。精密度和准......

Ａｌ原子含量约为５０％的Ｔａ／Ａｌ合金薄膜具有优良的电阻性能。使用直流共溅射的方法制作这种薄膜，靶极采用了Ａｌ面积为４５％的Ｔａ／Ａｌ复合靶研究了工艺参数如溅射气......

钽铝合金薄膜由于具有优良的热稳定性而适合制作薄膜功率型电阻网络。薄膜制备工艺条件对薄膜的电性能有很大的影响。该论文介绍了......