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使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜,随着基片温度的变化,薄膜的成分是ε-Fe2～3N、γ-Fe4N或是二相的混合物,薄膜的晶粒尺寸随基片温......
本文利用对向靶直流磁控溅射制备Fe-N膜,并对其时间稳定性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件下放置半年以上,其膜的......
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