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铂助腐蚀法相关论文

用于气体传感器的多孔硅的制备方法研究

分别采用化学刻蚀法、电化学腐蚀法和铂助腐蚀法在室温下制备了应用于气体传感器的纳米级多孔硅,并且对其表面形貌及厚度进行了表......

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多孔硅气体传感器化学刻蚀法铂助腐蚀法硅表面表面形貌传感技术孔径比微悬臂梁光学性能

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