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铂金热电阻相关论文

MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究

航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器......

期刊

传感器高温测量 MEMS 微制造工艺软光刻技术铂金热电阻 sensor MEMS embedded fabrication high temperatur

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