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锐利不稳定相关论文
聚集离子束致形变微纳加工方法研究
本论文开展了基于聚焦离子束(focused ion beam,简称FIB)的新型微纳米加工技术的方法、机理、原型材料器件制造的研究。传统的FIB......
学位
聚焦离子束
微纳米加工
三维组装
流体化
锐利不稳定
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