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MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析
环形谐振器是微机电系统(MEMS)谐振器中典型结构之一。其中,椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态,也是使用最为普遍的模态。以降......
期刊
MEMS
环形谐振器
锚损
支撑点震动模态
MEMS ring resonator anchor loss anchor vibration mode
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