采用射频溅射法成功地制备了ＮｉＴｉ形状记忆合金薄膜。研究了不同成分靶材对膜最终成分的影响。电子探针和俄歇能义测定结果表明，在Ｎｉ（５０ａｔ％）／Ｔｉ（５０ａｔ％）的靶材......