闭合磁场相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

闭合磁场相关论文

闭合磁场的作用原理与布局逻辑

采用非平衡磁控溅射阴极在镀膜区间构建闭合磁场已经成为设计开发磁控溅射真空镀膜系统的通用手段,然而闭合磁场具体的作用对象、......

期刊

闭合磁场电子运动真空结构布局沉积效率

高能离子溅射镀膜机中辅助阳极性能研究

溅射镀膜已经在工业生产中大规模的运用,等离子体的分布在磁控溅射镀膜过程中起着至关重要的作用,其中正离子的能量,离子的浓度等......

学位

辅助阳极等离子体磁控溅射 OOPIC 闭合磁场

看过本文同时还关注