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闭环力反馈相关论文
一种MEMS电容式加速度传感器接口集成电路的设计
受工艺技术的限制,国内MEMS加速度计,尤其是有工业和军事应用需求的高精度大动态范围的加速度计,目前主要还处于传感器和信号处理接口......
学位
MEMS
差分电容式加速度计
闭环力反馈
接口电路
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