雷射輔助奈米壓印技術相关论文
在雷射輔助奈米壓印技衍當中,本研究使用KrF短波長胍衝式準分子雷射,其雷射波長為248 nm、胍衝時同為30 ns,作為輔助加熱矽晶片達......
会议
