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静电力变形相关论文

微型线振动陀螺仪中机械静电力耦合变形研究

针对此现象建立微型线振动陀螺仪结构不对称造成的静电力耦合误差模型以及梳齿变形模型，使用Matlab软件进行仿真分析，同时根据有限元......

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微型线振动陀螺仪机械静电力耦合线速度耦合静电力变形 Matlab仿真分析 ANSYS MEMS line vibration gyroscope mec

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