非旋转对称误差相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

非旋转对称误差相关论文

干涉仪标准面非旋转对称误差的消除

提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解......

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计量学非旋转对称误差 Zernike多项式拟合旋转不变性绝对检验 Metrology Rotational variant error Zernike p

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