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液相等离子沉积非晶态碳膜的试验研究
应用简单的电镀槽,通过阴极/电解液界面前沿气泡鞘的形成而建立辉光放电,促成非晶态碳薄膜在电极表面的沉积。沉积物宏观上分布不均......
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非晶态碳薄膜
plasma liquid phase deposition amorphous carbon films
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