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单片式压电谐振型石英压力-温度传感器设计
提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)—石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器(QPTS),设计了单片式QPTS结构、石......
期刊
石英压力—温度传感器
压电谐振
单片式
厚度切变模式
压力—伸缩力变换器
非晶态SiC
无应力封接
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