非晶硅薄膜(A-Si 相关硕士博士期刊学术论文

在玻璃衬底上采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)法制备了非晶硅薄膜(A-Si:H).用紫外-可见-近红外分光光度计测出了其透射光谱......