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面内纵弯模态相关论文
面内模态直线超声电机结构设计及驱动方法研究
为了满足微光刻技术、精密加工、生物技术等领域的迅速发展的需要,精密定位平台需要满足更高的性能要求。传统定位平台是以旋转电......
学位
直线超声电机
串联电感匹配
频率自动跟踪
面内纵弯模态
等效电路
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